铜以及硫酸 硫酸铜(CuS04·5H20)以及硫酸、氟硼酸铜[Cu(BF4)2]以及氟硼酸辨别是硫酸盐以及氟硼酸盐镀液的次要成份,铜盐提供铜离子,表2-1中给出了罕用以及高扩散功能的镀液配方。后一种溶液用于印刷线路板的电镀中,前面章节中将作具体的讨论。正在很低的阴极电流密度下,铜能够从其无游离酸的盐的水溶液中堆积[64,65],然而正在较高的电流密度下从硫酸盐溶液中取得的镀层蓬松且有盐混合。正在两种溶液中退出游离酸,能够改善电镀功能,进步溶液的电导率,极年夜地升高阳极以及阴极极化[26,66],酸的退出还能够阻止碱式盐的积淀。 硫酸铜溶液的浓度范畴很宽,当然,跟着溶液浓度的添加,溶液的电导率会变年夜[67]。当硫酸铜浓度高于1M(250g·L_1)时,阴极极化添加很少[68],硫酸铜浓度低于60g·L叫时阴极效率降落[69]。硫酸铜浓度的扭转对晶粒尺寸影响很小,但有些晶粒的细化是硫酸浓度添加到1.5N(72g·L_1)的后果[70]。表2-1中保举了应用很高阴极电流密度时的高硫酸铜极限浓度,硫酸铜的溶解度跟着硫酸浓度添加而升高。 表2-1酸性镀铜配方
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硫酸浓度的变动对阳极、阴极极化以及溶液电导率的影响比硫酸铜浓度的变动影响要年夜。大批的硫酸退出到硫酸铜溶液中,升高了阴极极化,正在0.4mol/L(38g·L-1)时,达到小值,且跟着硫酸浓度进一步添加,阴极极化随之添加[68]。正在低浓度铜(15g·L-1)、高浓度硫酸的镀液中,扩散才能明显地增年夜。太高的硫酸使阴极超电势急剧添加,镀层的整平性变差,结晶毛糙[72]。超电势的添加惹起X射线衍射图谱显著变动,崇高高贵电势下呈现三维晶核[73]。当硫酸浓度从50g·L-1添加到100g·L-1,其电导率简直添加一倍[74]。正在电冶金中,增加的游离酸浓度达到200g·L-1,电阻率从4.2~4.3mΩ·cm升高到1.6~1.9mΩ·cm[75]。 2.4.2氯化物 正在光洁以及高扩散酸性硫酸盐镀液中,氯离子能够升高阳极极化[76],消弭高电流密度区的镀层条纹[40]。将氯离子浓度管制正在60~80mg·L-1很首要,低于30mg·L-1,镀层没有光洁、有条纹、毛糙且构成阶梯式镀层;高于120mg·L-1,镀层晶粒毛糙、无光泽、阳极极化,招致堆积的中止[41]。C1-还影响镀层的外表描摹、构造、显微硬度、晶格取向以及内应力[77~79]。正在两种没有同的镀铜溶液中都必需退出少少量氯离子,来进步镀层延展性。氯离子的浓度正在10mg·L-1范畴内变动时,跟着氯离子浓度的添加镀层的伸长率明显地添加[80]。 正在卤化物中,C1-能正在很宽的浓度范畴内(40~150mg·L-1)无效地消弭应力,更首要的是C1一能与罕用光洁剂协同作用[81]。氯离子浓度好值是50mg·L-1,该浓度能添加镀层的显微硬度,而没有会添加内应力[82],C1一的应用对扩散才能不影响[82,83]。 正在C1-以及增加剂(如,硫脲或产业特有光洁剂)存正在下,除了了CuC1外表膜外,吸附的Cu(I)或Cu(I)络合物一C1桥膜克制外表吸附的Cu原子的分散,此进程是堆积机理中的管制步骤[84~86]。正在加有聚乙二醇(PEG)的溶液中,假如无氯离子或其数目缩小,PEG的克制作用会削弱,从而影响镀层的形状。氯化物存正在时,PEG的克制作用比独自应用PEG要显著[87]。 大批的氯离子可以减速铜的堆积,这里假定氯离子像聚乙二醇同样作为吸附正在电极外表的外表活性剂[88~90],适量的氯化物正在阳极外表孕育发生没有溶的铜氯化物,障碍堆积过程[91]。尽管氯离子被堆积的铜排汇,但正在不光洁剂或增加剂的酸性硫酸盐溶液中,高达l0-3mol/L的氯离子对电压一电流伏安曲线的影响很小[92]。 2.4.3氟硼酸盐 氟硼酸铜溶解性比硫酸铜好患上多,氟硼酸盐溶液中金属离子浓度比含硫酸50~75g·L-1的硫酸铜溶液超出跨越一倍多。假如氟硼酸盐溶液中酸的浓度过低(pH值高于1.7),镀层无光泽,发暗且发脆。退出硼酸能稳固溶液,阻止氟硼酸铜的合成,电阻率添加很少。正在氟硼酸浓度高于l5g·L-1或氟硼酸铜浓度高于220g·L-1的溶液中,盐或酸浓度的添加城市招致电阻率升高。 2.5 增加剂 常常增加增加剂到酸性硫酸铜溶液中,可取得光洁、硬度高、结晶粗疏、外表润滑的镀层,添加极限电流密度能够缩小树状晶体构成。正在本书老版本[6]的酸性镀铜章节中列出了年夜量l959年之前应用的酸性镀铜增加剂[5]。近几年专利中应用的增加剂列正在表2-2中。地下宣布的工艺文献中应用的资料包罗苯并三唑[84,85,93,94]、镉[95]、酪卵白[96]、钴[97]、糊精[96]、二甲基氨的衍生物[98]、二硫化物[98.99]、I,8-二磺酸[93]、3,3-二硫双亚丙基磺酸二钠[100]、4,5-二噻辛基一1,8-二磺酸[93]、二硫苏糖醇[101]、环氧乙烷[100]、明胶[102]、胶[76,96]、树脂紫胶[76]、乳糖苯甲基腙[103]、2-巯基乙醇[104]、糖蜜[96]、磺化汽油[76]、邻-菲洛啉[95,105]、聚乙氧基醚[106]、聚乙二醇[87,107,108]、聚乙烯亚胺[107]、聚N,N7-二乙基碱性藏红[l00]、聚丙烯醚[109,110]、氧化丙烷[100]、糖[96]、硫代氨甲酰一硫代-磺化烷烃[111]、硫脲[76,81,84,85,96,112,114]。氯化物也可以为是一种增加剂,将正在独自的章节中讨论。 表2-2曾经请求专利的镀铜增加剂
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如今产业上罕用的许多增加剂由三局部组成,辨别是载体、整平剂、光洁剂。ReidE[l5]陈诉中讲:“载体是份子品质2000阁下的聚乙二醇类型的聚合体,整平剂是含磺酸基以及氨基或酰氨基官能团的烷烃外表活性剂,光洁剂是从含硫原子的外表活性基团衍生而来的丙烷磺酸。” 一种增加剂的使用必需通过评价,由于这样能够防止没有希冀性子的呈现。例如,退出某些增加剂后镀层变脆,堆积电位降低,明胶(0.2g·L-1)[70,116]或胶[68,117]的退出使阴极极化显著地降低。这些增加剂使晶粒细化,但因为其构造是柱状,并逐步变成纤维状,其取向次要是单向。明胶增加剂退出硫酸盐镀液中会使镀层孕育发生孔隙、无机混合物[64,118],或二者兼有。 苯磺酸用于电铸产业中,然而成果取决于其磺化以及污染进程[11]。溶液电解或通电解决一段工夫随后退出苯酚以及苯磺酸,堆积的镀层变硬,变润滑[120]。增加剂使镀层润滑以及晶粒细化的趋向有时会与阴极上或阴极界面左近的胶体或铜络离子的构成无关,例如,明胶或甘氨酸与铜构成络离子[121~123],并以胶体方式存正在[挖州。应用超显微镜察看发现,增加剂中硒以及砷的氧化物孕育发生的胶体颗粒凑集正在阴极上[125]。 电冶金中优先思考的是防止结瘤,它次要与整个阴极品质无关[11]。抉择合适的镀液操作前提能够克制结瘤,更首要的是抉择合适的增加剂。如今年夜少数电冶金中,应用的增加剂中包罗植物胶、硫脲、氯离子,有时包罗磺化的碳氢化合物。硫脲的退出能够取得润滑的铜外表,消弭了却瘤,其后果与超电势(>114mV)[114]的年夜幅度回升无关。 |