改良厚度均匀性的电镀装置与电镀方法

   日期:2021-09-09     浏览:203    
核心提示:地下号 101275267地下日 20081001请求人 旭明光电股分无限公司地点 台湾省苗栗县一种电镀安装,可孕育发生厚度平均性年夜于95%的
 

地下号 101275267

地下日 20081001

请求人 旭明光电股分无限公司

地点 台湾省苗栗县

一种电镀安装,可孕育发生厚度平均性年夜于95%的镀层,该安装蕴含:电镀槽,内含电镀液;阳极,浸没于该电镀液内;阴极夹具,用以固定待镀工件及通报电流;导流板,呈中空圆盘状且设于阴极夹具与阳极之间,其上设有多个孔洞,该导流板用以扶引电镀液的标的目的;辅佐阴极,设置正在待镀工件的阁下双侧,且与待镀工件放弃年夜于1 μm的适当间隔。本创造的电镀安装尤为实用于希冀镀层厚度正在50 ~ 200 μm范畴内的工艺。同时地下了行使上述电镀安装的电镀办法。

 









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