地下号 101228623

地下日 20080723

请求人 株式会社荏原制造所

地点 日本东京

提供了基板解决单位、基板传送办法、基板洗净解决单位以及基板电镀设施，使患上诸如机械人臂的基板载入机构正在载入基板之后疾速开释放弃正在基板上，从而缩短放弃所述基板的工夫并进步畅通流畅量。所述基板解决单位包罗用于将所述基板放弃正在特定的放弃地位的基板放弃机构，和解决机构，用于将规则的解决施加至由所述基板放弃机构所放弃的所述基板，此中基板疏导机构设有疏导销，用于将所述基板疏导至放弃地位左近。所述基板疏导机构具备多个位于放弃地位的所述基板外周上的辊，而所述的多个辊适于经过从所述基板的侧部将所述基板的周边支承正在所述放弃地位的左近而支承所述基板，所述的辊具备一体的构造，所述一体的构造包罗年夜直径局部和构成正在所述年夜直径局部上方的小直径局部，而年夜直径局部的上侧局部具备肩部，以便所述基板正在传送中暂时地支承正在其上，而且所述肩部构成有朝向其外周、向下歪斜的歪斜外表。